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真空泵

罗茨真空泵的机械及分子工作原理

时间:2015-10-24 11:22来源:未知 作者:admin 点击:

双叶罗茨真空泵的工作原理示意图罗茨真空泵的工作原理图,机械原理图

罗茨真空泵工作时,泵腔内的一对转子按图示有箭头方向同步旋转,两转子 与泵体、两侧盖所组成的进气腔随着转子的旋转不断增大,将气体从泵的进气口吸入(如图A、B所示);随着转子的进一步旋转,吸入的气体被关入封闭 的V0空间内(如图C上阴影部分所示),再随着转子的旋转,V0空间内 的气体被转移到与排气腔接通,由于此时V0空间内的压力较排气腔要低,气体就从排气口返扩散到V0处,但转子进一步旋转时排气腔不断缩小,所以又将气腔内 的较返流更多的气体从排气口排出,就这样形成了罗茨真空泵的不断吸气与排气

三叶罗茨真空泵的机械工作原理与两叶的基本相同,区别在于三叶的把转子分成三叶

罗茨真空泵的分子作用原理

罗茨真空泵在入口压力很低情况下工作的。由于转子转速很高(各型号配的电机不同转不也不同但都很高),转子表面的线速度近于分子的热运动速度,这时碰撞在转子上的气体分子被转子携带到压力较高的排气侧,再被前级预真空泵排除。

罗茨真空泵在两种原理联合作用下,促使期在(1.3X10³~1.3帕)区间内具有抽速大和抽速曲线平稳的特点。

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